随着半导体、电子行业的技术发展，对水处理设备的需求也越来越广泛，国内外超纯水设备的技术也获得了飞速的发展和广泛的应用，涌现出一大批超纯水处理方面领域的公司企业，。目前国内的超纯水制备行业正处于快速的发展阶段，但是相比国外的发展水平仍有很大的差距。随着国内半导体生产线的普及，超纯水制备设备的需求越来越大，目前国内的现代超纯水水质以电阻率、TOC（总有机碳）、细菌、微粒、DO（溶解氧）、可溶硅、离子和金属杂质等参数来表征，它们对器件影响大。因此，这就需要设计一台能够制备满足指标要求的浸没液超纯水处理系统，以保证光刻机的正常运行。超纯水处理系统是制备超纯水的自动控制系统，在光刻机中它作为浸没控制系统中的子模块，主要负责对超纯水的制备，对超纯水污染物质进行处理，并达到浸没供给液各项指标要求。
EDI超纯水设备工作原理：
EDI工作原理如图所示。EDI膜块中将一定数量的EDI单元用格板隔开，形成浓水室和淡水室。又在单元两端设置阴/阳电极。在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别透过阴阳离子交换膜迁移到浓水室而在淡水室中去除。如下图：
电场使进水中的水分子在离子交换树脂界面离解成H+及OH-，并不断地再生淡水室中阴、阳离子交换树脂。离子交换树脂中的阴、阳离子在再生过程中受到相应正负电极的吸引，透过阳、阴离子交换树脂向所对应的离子膜的方向迁移。当这些离子透过交换膜进入浓室后，H+及OH-重新结合成水。这种H+及OH-的产生、湮灭及阴、阳离子迁移正是离子交换树脂得以实现连续再生的机理。
EDI超纯水设备组成部分：
1、淡水室将离子交换树脂填充在阴、阳离子交换膜之间形成淡水室
2、浓水室在相邻淡水单元的阴阳离子交换膜之间添加树脂，形成浓水室；
3、极水室在电极板与相邻离子交换膜中间添加树脂，形成极水室。
一个膜块中有正、负两个极水室；
4、绝缘板和压紧板
5、电源及水路连接
超纯水处理设备应用领域：
（1）工业制造业
需要超纯水的工业行业主要包括电子、电力、石油化工等。在电子行业中，半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、微电子行业、大规模及超大规模集成电路需要用大量的超纯水清洗成品和半成品。在电力生产中，发电系统的发电循环效率取决于系统中水蒸气的温度和压力，且纳、氯化物或二氧化硅等污染物易引起涡轮机叶片的腐蚀和污染。在石油化工行业中，高纯水主要应用于油田注入水、化工反应冷却水、化学药剂、化肥及精细加工、化妆品制造、电镀行业清洗水、电池行业溶剂用水。
（2）消费品行业
超纯水主要应用在食品及制药行业。随着环境污染的加剧和人们对健康要求的不断提高，食品、饮料行业用水的水质要求也随之提高，高纯水在食品饮料行业得到越来越广泛的应用，如饮用纯净水、饮料、酒类等生产用水、饮料的无菌灌装、原材料的运输与清洗、工作场所和设备的高压清洗等。
医药在人们的生活中起着至关重要的作用，医疗用水水质的好坏直接影响着治疗水平，关系到病人的生命安全。早在1990年我国出版的《中华人民共和国药典》二部便规定了医用蒸馏水、注射用水和无菌注射用水等三种医药用水的要求，规定了十一项指标：PH、氯化物、硝酸盐和亚硝酸盐、硫酸盐、钙盐、氮、二氧化碳、易氧化物质、不挥发物质、重金属及热源。可见超纯水在医药行业的重要性。
（3）实验室用水
在生命科学的基础研究和医药工程以及医院的临床、制药、生理、生化、化学、物理的各个领域都直接或间接需要使用超纯水，细胞或组织培养、试管婴儿、医院化验分析、各种针剂和药剂的配制稀释用水。
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