硼在自然界中广泛存在,包括水环境,例如海水、地表水和地下水。 水中硼浓度高会对植物生长和人体健康产生负面影响。对于微电子行业,即使是浓度很低的硼也会导致生产线的超纯水 (UPW) 系 统和产品产率出现问题。大多数集成 电路 (IC) 生厂商需要的硼浓度小于 20 ppt,对于一些最新的先进技术来说,甚至低于 1 ppt。针对当今
硼在自然界中广泛存在,包括水环境,例如海水、地表水和地下水。 水中硼浓度高会对植物生长和人体健康产生负面影响。对于微电子行业,即使是浓度很低的硼也会导致生产线的超纯水 (UPW) 系 统和产品产率出现问题。大多数集成 电路 (IC) 生厂商需要的硼浓度小于 20 ppt,对于一些最新的先进技术来说,甚至低于 1 ppt。
针对当今硼给集成电路行业带来的挑战,半导体级硼选择性离子交换树脂是一种很好的解决方案。
因此杜邦集团经过多年的研究,经过大量的工作和开发产品等方法,杜邦水处理研发 了均粒的半导体级 AmberTec UP7530。
杜邦 UP7530 树脂则为高效除硼提供了有力解决方案。它并非普通树脂,而是半导体级的均粒树脂,具有卓越的除硼性能。其除硼原理基于特殊的官能团与硼离子之间的特异性结合。这种树脂的粒径均匀,在再生过程中,各处的树脂颗粒都能与再生液充分接触,避免了部分树脂无法再生的情况,从而确保了除硼性能的稳定与持久。
杜邦UP7530树脂优势:
1.对客户来说是易于处理的树脂,且无需消耗化学品,环保。客户使用该树脂可以缩短项目的调试时间,替代项目可以快速达到正常运行,杜邦UP7530树脂的交换容量也高,性能也更加可靠。
2.在具有除硼精处理阴床的UPW抛光系统:
在补给水水质波动时提高出水水质和系统稳定性;降低更换频率(AmberTec™ UP7530 对比抛光 阴离子);延长抛光树脂寿命。
运行的温度范围在:15-25°C(60-77°F)。运行流速是40 – 60 BV/h
从实际应用案例来看,在微电子行业的超纯水制备中,杜邦 UP7530 树脂发挥着关键作用。微电子生产对水质要求极高,超纯水中硼离子的微量残留都可能影响产品质量。UP7530 树脂能够稳定、高效地去除水中硼离子,保证产出的超纯水硼离子含量达标,满足微电子生产工艺的严苛需求。在一些相关企业的超纯水系统中,装填杜邦 UP7530 树脂的抛光床,持续稳定运行,产出的水质纯净度高,为企业生产高品质电子产品提供了可靠保障。
所以说,杜邦 UP7530 树脂具备高效的除硼性能,能够有效应对水中硼离子的去除难题,在超纯水制备,特别是对水质要求严苛的行业中,具有不可替代的重要地位,为保障生产工艺的顺利进行与产品质量的提升发挥着关键作用。
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